TPM5 தொடர் பவர் கன்ட்ரோலர்
-
TPM5 தொடர் பவர் கன்ட்ரோலர்
TPM5 தொடர் பவர் கன்ட்ரோலர் தொகுதி வடிவமைப்பு யோசனையை ஏற்றுக்கொள்கிறது மற்றும் உள்ளே 6 சுற்றுகள் வரை ஒருங்கிணைக்கிறது.தயாரிப்புகள் முக்கியமாக பரவல் உலைகள், PECVD, எபிடாக்ஸி உலைகள் போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.