படிதல்
நுண்ணறிவுகளைப் பெற்று வளர்ச்சி செயல்முறையை விரைவுபடுத்துங்கள்.
மேம்பட்ட ஆற்றல், முக்கியமான மெல்லிய படல படிவு பயன்பாடுகள் மற்றும் சாதன வடிவவியலுக்கு மின்சாரம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டு தீர்வுகளை வழங்குகிறது. வேஃபர் செயலாக்க சவால்களைத் தீர்க்க, எங்கள் துல்லியமான சக்தி மாற்ற தீர்வுகள் சக்தி துல்லியம், துல்லியம், வேகம் மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை மேம்படுத்த உங்களை அனுமதிக்கின்றன.
செயல்முறை பிளாஸ்மாவை சிறப்பாகக் கட்டுப்படுத்த உங்களை உண்மையிலேயே அனுமதிக்கும் பரந்த அளவிலான RF அதிர்வெண்கள், DC மின் அமைப்புகள், தனிப்பயனாக்கப்பட்ட மின் வெளியீட்டு நிலைகள், பொருந்தக்கூடிய தொழில்நுட்பங்கள் மற்றும் ஃபைபர் ஆப்டிக் வெப்பநிலை கண்காணிப்பு தீர்வுகளை நாங்கள் வழங்குகிறோம். செயல்முறை நுண்ணறிவை வழங்கவும் மேம்பாட்டு செயல்முறையை விரைவுபடுத்தவும் வேகமான DAQ™ மற்றும் எங்கள் தரவு கையகப்படுத்தல் மற்றும் அணுகல் தொகுப்பையும் நாங்கள் ஒருங்கிணைக்கிறோம்.
உங்கள் தேவைகளுக்கு ஏற்ற தீர்வைக் கண்டறிய எங்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளைப் பற்றி மேலும் அறிக.
உங்கள் சவால்
ஒருங்கிணைந்த சுற்று பரிமாணங்களை வடிவமைக்கப் பயன்படுத்தப்படும் படலங்கள் முதல் கடத்தும் மற்றும் காப்புப் படலங்கள் (மின் கட்டமைப்புகள்), உலோகப் படலங்கள் (ஒன்றோடொன்று இணைப்பு) வரை, உங்கள் படிவு செயல்முறைகளுக்கு அணு-நிலை கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது - ஒவ்வொரு அம்சத்திற்கும் மட்டுமல்ல, முழு வேஃபரிலும்.
கட்டமைப்பைத் தாண்டி, உங்கள் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படலங்கள் உயர் தரமாக இருக்க வேண்டும். அவை விரும்பிய தானிய அமைப்பு, சீரான தன்மை மற்றும் இணக்கமான தடிமன் ஆகியவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும், மேலும் வெற்றிடமில்லாமல் இருக்க வேண்டும் - மேலும் இது தேவையான இயந்திர அழுத்தங்கள் (அமுக்க மற்றும் இழுவிசை) மற்றும் மின் பண்புகளை வழங்குவதோடு கூடுதலாகும்.
சிக்கலானது தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது. லித்தோகிராஃபி வரம்புகளை (துணை-1X nm முனைகள்) நிவர்த்தி செய்ய, சுய-சீரமைக்கப்பட்ட இரட்டை மற்றும் நான்கு மடங்கு வடிவமைத்தல் நுட்பங்களுக்கு ஒவ்வொரு வேஃபரிலும் வடிவத்தை உருவாக்கி மீண்டும் உருவாக்க உங்கள் படிவு செயல்முறை தேவைப்படுகிறது.
எங்கள் தீர்வு
நீங்கள் மிகவும் முக்கியமான படிவு பயன்பாடுகள் மற்றும் சாதன வடிவவியலை வரிசைப்படுத்தும்போது, உங்களுக்கு நம்பகமான சந்தைத் தலைவர் தேவை.
மேம்பட்ட எனர்ஜியின் RF பவர் டெலிவரி மற்றும் அதிவேக பொருத்துதல் தொழில்நுட்பம், அனைத்து மேம்பட்ட PECVD மற்றும் PEALD படிவு செயல்முறைகளுக்கும் தேவையான பவர் துல்லியம், துல்லியம், வேகம் மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையைத் தனிப்பயனாக்கவும் மேம்படுத்தவும் உங்களை அனுமதிக்கிறது.
உங்கள் உள்ளமைக்கக்கூடிய வில் பதில், சக்தி துல்லியம், வேகம் மற்றும் தேவையான PVD (ஸ்பட்டரிங்) மற்றும் ECD படிவு செயல்முறைகளை மீண்டும் மீண்டும் செய்ய எங்கள் DC ஜெனரேட்டர் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தவும்.
நன்மைகள்
● மேம்படுத்தப்பட்ட பிளாஸ்மா நிலைத்தன்மை மற்றும் செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மை மகசூலை அதிகரிக்கிறது.
● முழுமையான டிஜிட்டல் கட்டுப்பாட்டுடன் கூடிய துல்லியமான RF மற்றும் DC விநியோகம் செயல்முறை செயல்திறனை மேம்படுத்த உதவுகிறது.
● பிளாஸ்மா மாற்றங்கள் மற்றும் வில் மேலாண்மைக்கு விரைவான பதில்.
● தகவமைப்பு அதிர்வெண் சரிப்படுத்தும் பல நிலை துடிப்பு எட்ச் வீதத் தேர்ந்தெடுப்பை மேம்படுத்துகிறது.
● அதிகபட்ச இயக்க நேரம் மற்றும் தயாரிப்பு செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்கு உலகளாவிய ஆதரவு கிடைக்கிறது.